60MW Dual Track Feuerungsanlage

Der Despatch 60MW Trocken/Brennofen ist für maximale Durchsatzleistung, konsistente Prozessreproduzierbarkeit sowie maximale Betriebslaufzeit ausgelegt, was sich in hohen Fertigungsergebnissen, hervorragender Produktqualität und verringerter Cost of Ownership niederschlägt.

Außer diesen außergewöhnlichen Leistungsmerkmalen verfügt dieses Modell über eine mittels Touchscreen betätigte grafische Benutzeroberfläche, Elektronikzugang auf Augenhöhe und Kammerzugang mit Drucktastenbedienung als erstes seiner Art. Diese Innovationen erleichtern die Anwendung, optimieren die Leistung bei maximaler Laufzeit und gestatten Ihnen eine ständige Verbesserung ihrer Ergebnisse.

Standardeigenschaften: 

• schnelles Thermal Ramping (>80°C/s)
• verbesserte thermische Kühlung (>70°C/s); Temperaturregelung
• verbessertes Software-Recipe-Management
• mittels Touchscreen bediente grafische Benutzeroberfläche
• Master-Produktionssteuerung-Interface
• Datenprotokollierung
• redundante Übertemperaturabschaltung
• minimiertes Wafer Shadowing Design
• sicherer, einfacher Kammerzugang
• Elektronik auf Augenhöhe zwecks leichter Wartung

Optionale Ausstattung:

• Wassergekühlter Wärmeaustauscher
• Kontrollmonitor für Komponentenfehler
• Profiling-Systeme
• wassergekühlter FOV-Kondensator
• Ultraschall-Bandreiniger/Trockner
• Notstromaggregat (UPS)
• kundenspezifische Bandbreiten
• Maschenförderband mit Eindrückvorrichtungen
• Integration in Wafer-Automatisierungstechnik