AST-3100 Automatisiertes Polyimid-Aushärten

Ein erprobtes 300mm thermisches Prozesswerkzeug

Konstruiert zum automatisierten Ebenen - Verarbeiten von Scheiben, Despatch AST-3100 ist sowohl für 200mm als auch 300mm-Scheiben geeignet. Dieses automatisierte Polyimid-Aushärtwerkzeug erhöht den Durchlauf, eliminiert Handhabungsfehler und spart wertvollen Stellplatz ein.
Thermische Daten - Das Despatch AST-3100 Polyimid-Aushärtwerkzeug bietet enge Temperaturgleichmäßigkeit. Das Werkzeug hält eine Gleichmäßigkeit von +/-1.0°C zwischen jeder Scheibe und über alle 50 Scheiben in der Kammer beim Eintauchen.
Durchsatz erhöhen, Fehler eliminieren und Ergonomie verbessern - Integration eines Brooks-Automatisierten Scheiben-Handhabungssystems eliminiert teure Fehler, verbessert die Ergonomie und erhöht den Durchsatz. Die zwei Kammern des Ofens nehmen je 50 Scheiben auf und arbeiten unabhängig voneinander während des Prozesszyklus. Despatch kann zusätzliche Wärmekammern hinzufügen um den Durchsatz zu erhöhen.
Wertvollen Reinraumplatz einsparen - Die kleine AST3100 Standfläche minimiert den benötigten Reinraumplatz und maximiert Ihre Produktionsumgebung. Kompatibel mit auf der Stirnwand montierten Installationen.

Standardeigenschaften

• Automatisierungsfunktion
• Nimmt sowohl 200mm als auch 300mm Scheiben auf.
• Standardautomatisierung in der Halbleiterindustrie
• Vier vorne zu öffnende Hülsen (FOUP) Beladungsöffnungs-Stationen
• Atmosphärischer Klasse 1 Reinraum-kompatibler Roboter
• Optisch basierter Klasse 1 Laserkassette- Abbildungs-Sensor
• Werkzeugkapazität 100 Scheiben mit Standard Zwei-Kammerkonfiguration
• Stickstoffatmosphäre
• 350°C Maximale Betriebstemperatur
• Temperaturgleichmäßigkeit ±1.0°C bei 350°C Eintauchtemperatur
• Aktive Kühlung für schnelles Abkühlen
• HEPA-Filter
• Erfüllt SEMI S2/S8 und SEMATECH Anhänge A, B, und C
• Graphische Benutzer-Schnittstelle (GUI)
• Erfüllt 300mm SEMI Kommunikationsstandards

Optionen

• 0 2 Ebenen Überwachung
• Scheiben-ID-Leser
• Nicht unterbrechbare Stromversorgung (UPS)