Startseite  Produktangebot CT-150 und CT-200 Polyimid-Aushärt-Werkzeuge
Thermische Prozesslösungen
CT-150 und CT-200 Polyimid-Aushärt-Werkzeuge |
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Ein erprobtes Inertatmosphären-Prozesswerkzeug
Das Despatch-Polyimid-Aushärt-Werkzeug bietet eine einmalige „Kammer in Kammer“ Konstriktion, welche Partikelkontamination und Sauerstoffkonzentration verringert unter Beibehaltung enger Temperaturgleichmäßigkeit und schnellen Aufheiz- und Abkühlrampen-Raten. Das Werkzeug ist für manuelle Be-/Entladung von Kassetten konstruiert.
Prozessbeschreibung
Vorgeheizter und gefilterter Stickstoff wird in die Aushärtkammer eingebracht und strömt vertikal nach unten über die Scheiben zur Wärmeübertragung und für eine reine Umgebung.
Die innere Ausheizkammer hat keine bewegten Teile und bietet eine reine-, als auch sauerstoffarme Umgebung für die Scheiben.
Die äußere Heizkammer liefert enge Luftstrom-Temperaturgleichmäßigkeit an die innere Aushärtkammer und stellt eine gleichmäßige Wärmeverteilung an die Aushärtkammer und die Scheiben sicher.
Das Werkzeugkonzept wurde über viele Jahre in anderen geschützten Wertzuwachs-Anwendungen verwendet, wie Photowiderstand-Verbindungen in Diskettenlaufwerk-Köpfen.
Typische Anwendungen
- Aushärten von Polyimid-beschichteten Scheiben
- BCB Ausbacken
- Photowiderstand Aushärten
Ausrüstungsanforderungen
- 80 psig Druckluft der Fabrik
- 4 gpm Kühlwasser
- 10 cfm Stickstoffversorgung
- 480 oder 400 Volt - 3 Drei-Phasen-Strom
Standardeigenschaften
- Kapazität für 150mm und 200mm Scheiben
- Enge Temperaturgleichmäßigkeit (±2.5 °C bei 400°C)
- Schnelle Rampenraten (5 °C/Minute Heizen und 2.5 °C Kühlen)
- Niedriger Sauerstoffgehalt
- Geringe Festkörperanteile (Klasse 100 und besser)
- 8 Kassetten-Kapazität für 150mm-Scheiben und 6 Kassetten-Kapazität für 200mm-Scheiben
- 450 °C Maximale Betriebstemperatur
- Mehrfach-Rezepte/Steuerungen
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Produktaufnahmen
Produktbeschreibung, Optionen und Spezifikationen
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