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Thermische Prozesslösungen
PCO2-14 Polyimide Aushärten |
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Der PCO2-14™ ist ein Reinprozess Ofen und wurde für Anwendungen wie Polyimid- Ausbacken und Aushärten konstruiert. In der Halbleiterproduktion werden in vorgelagerten Prozessen Polyimide ausgehärtet. Dieser Prozess ist sehr kostenintensiv, da die Ausstattung typischerweise bezüglich Reinheit, Stickstoff-Atmosphäre, Zykluszeiten und Datenerfassung nicht für die Aushärtung von Polyimiden geeignet ist.
PCO2-14™ optimiert den Polyimid Aushärteprozess für die Produktion von Halbleitern. Er ermöglicht kurze Zykluszeiten und einen gleichförmigen, reproduzierbaren Aushärtungsprozess für alle Siliziumscheiben einer Charge, durch Kombination aller vier wichtigen Eigenschaften in einer einzigen kompakten Konstruktion: Reinprozess (Class 100 Umluftströmung), Stickstoffatmosphäre (<20 ppm Sauerstoff), Temperaturen bis zu 350°C sowie schnelle Zykluszeiten mit ± 1% Temperaturgleichförmigkeit.
Wie auch bei vielen anderen thermischen Lösungen von Despatch, kann der PCO2-14™ über ein Netzwerk von einem zentralen Arbeitsplatz gesteuert werden. Dadurch kann die erforderliche Stellfläche minimiert und die Produktivität erhöht werden. Die Daten der Atmosphäre können während des gesamten Zyklus aufgezeichnet werden.
Ausstattungsmerkmale
- Der Umluftstrom wird zu 100% durch einen 99,99% HEPA (High Efficiency Particulate Air)-Filter geleitet und ist für einen Class 100 Prozess oder besser geeignet.
- 16 kW Heizleistung
- Auto Wasser Steuerung mit einer 316L SST Wasserkühlschlange.
- Zwei Einlegeböden aus Edelstahl, in 3‘‘ Zentren justierbar.
- Maximal 50 lbs. pro Fach mit einer Gesamtkapazität von 300 lbs..
- Der Ofen kann bis zu 11 Einlegeböden fassen.
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Produktaufnahmen
Produktbeschreibung, Optionen und Spezifikationen
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