Werkzeug-Konditionierungs-Ofen

Der Despatch-Werkzeug- Konditionierungsofen hält Halbleiterteile und Werkzeuge sauber, trocken und bereit für eine sofortige Installation. Er ist speziell für eine atmosphärengeregelte Lagerung von Teilen, Werkzeugen und Abscheidungsprodukten.

Kontrollierte Atmosphäre - HEPA-Filter erzeugen Bedingungen, die besser sind als Klasse 100. Eine saubere Stickstoffatmosphäre stellt sicher, dass die Teile keinem Wasserdampf ausgesetzt werden. Die horizontale Luftströmung erzeugt gleichmäßige Temperaturen in Umgebungstemperaturen von bis zu 95°C.
Gepolsterte Ausroll-Fächer - Die Fächer sind für Halbleiterteile und Werkzeuge besonders konstruiert. Eine robuste Ausroll-Konstruktion erleichtert das Laden und Entladen schwerer Teile. Teflonpolsterung eliminiert Beschädigung durch Kratzen und Abrieb. (Standard für 300mm-Einheiten, Option für 200mm-Einheiten)
200mm und 300mm Größen - Öfen sind lieferbar in Größen die entweder für 200mm oder 300mm-Werkzeuge konstruiert sind.
Despatch-Qualität -Vor dem Versand erhält jeder Ofen einen sorgfältigen Qualitäts- und Leistungstest. Falls gewünscht, kann der Ofen gereinigt und dreifach in einer Reinraum-Umgebung eingepackt werden, wodurch eine schnelle, kontaminationsfreie Installation in Ihrem Reinraum sichergestellt wird.

Standardeigenschaften

Bedingungen Klasse 100
Stickstoffatmosphäre
Temperaturen bis 95 °C
Mit Teflon geschützte Ausroll-Fächer sind Standard für die 300mm Einheiten und Option für die 200mm-Einheiten

Produktaufnahmen

Produktbeschreibung, Optionen und Spezifikationen

Dateiname: tool_conditioning_oven.pdf

Dateigrösse: 141 kB

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