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Thermische Prozesslösungen
LCC/ LLC/ LCD/ LLD Stapelbare Reinprozess Öfen
Für Produktionsprozesse, in denen eine Umgebung mit minimaler Kontamination entscheidend ist. Die LCC und LCD Serie bietet den höchsten Standard der HEPA Filterung.
- Sterilisation
- Depyrogenisieren
- Aushärten
Atmosphäre/ Umwelt:
- Stickstoff
- Reinprozess
- Luft
Max. Temperatur: 350 °C
Kapazität: bis zu 144 Liter
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LCC2-14 Reinprozess Ofen
Der Despatch 14 cu ft Reinprozess Ofen wurde konstruiert, um die Anforderungen von Produktions- sowie F&E-Umgebungen in großem Maßstab zu erfüllen.
- Trocknen
- Depyrogenisieren
- Aushärten
Atmosphäre/ Umwelt:
- Stickstoff
- Reinprozess
- Luft
Max. Temperatur: 350 °C
Kapazität: bis zu 396 Liter
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AST-1100 Automatisiertes Photowiderstand-Ausbackwerkzeug
Wird in der Standard-Automatisierung der Halbleiterindustrie verwendet. AST-1100 bietet sowohl für 200mm als auch 300mm Silizium scheiben Platz. Das Werkzeug erhöht den Durchsatz und schont wertvollen Stellplatz.
Atmosphäre/ Umwelt:
Max. Temperatur: 175 °C
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AST-3100 Automatisiertes Polyimid-Aushärten
Der AST3100 bietet Platz für 200mm und 300mm Scheiben und arbeitet mit dem doppelten Durchsatz wie der AST1100 bei gleicher Temperatur Performance.
Atmosphäre/ Umwelt:
Max. Temperatur: 350 °C
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CT-150 und CT-200 Polyimid-Aushärt-Werkzeuge
Die CT-150 und CT-200 Polyimid Aushärtwerkzeuge bieten eine einzigartige "Kammer in Kammer" Konstruktion, welche die Teilchenkontamination und Sauerstoffkonzentration reduziert. Despatch- Polyimid-Aushärtewerkzeuge liefern eine in der Industrie führende Leistung bezüglich Temperaturgleichmäßigkeit in elektronischen Packaging Anwendungen.
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SD Steriliations- und Depyrogenations-Öfen
Diese Öfen besitzen die schnellsten Aufheizraten und kürzesten verfügbaren Zyklus-Zeiten und erfüllen cGMP sowie ISO Klasse 5 Standards. Lieferbar ist ein umfassendes Nachweispaket für IQ, OQ und SQ. Eine Isolatorintegration ist optional erhältlich.
- Sterilisation
- Depyrogenisieren
Atmosphäre/ Umwelt:
Max. Temperatur: 320 °C
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GW Serie Granulat-Trockner
Konstruiert zum Trocknen von pharmazeutischen Materialien. Diese Öfen erzeugen Klasse 100-Bedingungen und erfüllen alle cGMPs. Sie besitzen ein einzigartiges horizontales Luftströmungs-Muster für schnelles, gleichmäßiges Trocknen ohne Verkrusten.
Atmosphäre/ Umwelt:
Max. Temperatur: 180 °C
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Werkzeug-Konditionierungs-Ofen
Der Despatch-Werkzeug-Konditionierungsofen hält Halbleiterteile und Werkzeuge sauber, trocken und bereit für eine sofortige Installation. Er ist speziell konstruiert für eine atmosphärengeregelte Lagerung von Teilen, Werkzeugen und Abscheidungsprodukten.
Max. Temperatur: 95 °C
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UV-360 Ultraviolett Dekontaminations-Kammern
Diese Ultraviolett-Kammern bieten eine 6-log Reduktion biologischer Belastung von Materialien welche in einen sterilen Raum oder Barrierenisolator eingebracht werden. Die einzigartige, patentierte Konstruktion stellt sicher, dass alle Oberflächen einer keimabtötenden Wellenlänge ultravioletter Energie ausgesetzt werden.
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Magnetische Vakuum-Glühöfen
Diese Öfen wurden entwickelt für das Aushärten von Photowiderständen und für magnetische Glühprozesse, welche z.B. für die Produktion von Leseköpfen von Diskettenlaufwerken erforderlich sind. Sie bieten ein enges Maß an Prozesssteuerung und Überwachung sowie Flexibilität für eine breite Vielfalt von Anwendungen.
Atmosphäre/ Umwelt:
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